[참고자료]中 반도체 제조 핵심 장비 ‘이온주입기’ 국산화 성공(신화망 한국어판, 3.18)
중국 전자과기기술그룹(CETC)이 17일 발표한 데 따르면 CETC 산하 장비 그룹이 핵심 기술 난관을 뚫고 중전류(M/C), 대전류(H/C), 고에너지(H/E), 제3세대 반도체 등 이온주입기 전 계열 제품을 국산화 하는데 성공했다. 공정 단계는 28nm까지 아우른다. 반도체 제조공정의 핵심 장비인 이온주입기 국산화는 중국 반도체 제조 산업망의 중요한 일환을 보충하고, 전 세계 반도체 제조 기업에 이온주입기 원스톱 솔루션을 제공할 것으로 전망된다.
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